Nearfield Instruments High-speed dataverwerking voor metrologie
Schakelingen op halfgeleiders zijn nog maar enkele nanometers hoog en breed. Het is voor producenten een enorme uitdaging om op deze schaal kwaliteitsmetingen te doen. Nearfield Instruments ontwikkelde hiervoor een revolutionaire scanner. Technolution Advance werkte mee aan de systeemintegratie en realiseerde technologie voor de high-speed data-acquisitie en het high-speed transport van data.
Scanning Probe Microscopy
Scanning Probe Microscopy (SPM) is een technologie om oppervlakken op nanoschaal in beeld te brengen. SPM werkt met minuscule hefboompjes met een scankop die maar een paar atomen groot is. Daarmee wordt het oppervlak van de halfgeleiderwafer gescand. De krachten die optreden tussen de scankop en het waferoppervlak zijn de input voor de meting.
Nadelen van SPM
SPM heeft een paar nadelen: de scansnelheid is laag, en de punt van de scankop kan snel breken. Het grootste nadeel is dat de scankop het waferoppervlak beschadigt. De oplossing van Nearfield Instruments (NFI) neemt die nadelen weg: de technologie is non-destructief, dus de wafer wordt niet aangetast door de scan. En de scanner is ook nog eens vele malen sneller dan oplossingen uit het verleden. Het metrologiesysteem van NFI werkt met vier kleine scankoppen die gelijktijdig het waferoppervlak scannen, zodat de snelheid nog verder wordt verhoogd. Zo wordt het potentieel van SPM ontsloten. Samen met NFI kijkt Technolution Advance naar verdere ontwikkelingen en verbeteringen voor toekomstige scanners.
High-speed data-acquisitie en high-speed datatransport
Technolution Advance was betrokken bij het opzetten van de architectuur en bij de implementatie, het ontwerp en de integratie van de talloze subsystemen en besturingselementen voor high-speed datatransport en de besturing van de scankoppen. Voor het oplossen van de complexe elektromechanische puzzel van de scankoppen in de kern van de machine hebben wij nauw samengewerkt met NFI. Hierbij zijn zeer kleine printen en flexprinten gebruikt, omdat de ruimte erg beperkt is.
